Analyse par microfaisceaux — Analyse par microsonde électronique (microsonde de Castaing) — Vocabulaire

L'ISO 23833:2013 définit des termes employés dans la pratique de l'analyse par microsonde électronique (microsonde de Castaing). Elle couvre à la fois des concepts généraux et des concepts spécifiques, classés selon le rang hiérarchique qu'ils occupent dans un ordre systématique.

L'ISO 23833:2013 est applicable à tous les documents de normalisation relatifs à la pratique de l'EPMA. En outre, certaines parties de l'ISO 23833:2013 sont applicables aux documents relatifs à la pratique de techniques apparentées (MEB, AEM, EDX, etc.) pour la définition des termes communs à ces techniques.